文章來源：中國電子科技集團有限公司 發布時間：2021-03-22
3月17日，從中國電科獲悉，中國電科旗下裝備子集團日前已成功實現離子注入機全譜系產品國產化，可為全球芯片制造企業提供離子注入機一站式解決方案。
據悉，裝備子集團連續突破高性能離子源、高速晶圓傳輸等“卡脖子”技術，自主研制中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機，工藝段覆蓋至28nm，累計形成核心發明專利413項，為我國芯片制造產業鏈補上重要一環，實現我國芯片制造領域全譜系離子注入機自主創新發展，有效緩解我國芯片制造領域斷鏈、短鏈難題。
【責任編輯：趙藝涵】