兵器工業(yè)集團(tuán)突破非球面光學(xué)元件數(shù)控拋光難題
兵器工業(yè)集團(tuán)突破非球面光學(xué)元件數(shù)控拋光難題

文章來(lái)源:中國(guó)兵器工業(yè)集團(tuán)公司 發(fā)布時(shí)間:2007-04-09
兵器工業(yè)集團(tuán)突破中大尺寸非球面光學(xué)元件數(shù)控拋光難題
中國(guó)兵器工業(yè)集團(tuán)公司所屬長(zhǎng)春工藝設(shè)備研究所承擔(dān)的“十五”支撐技術(shù)預(yù)研項(xiàng)目“Φ500mm中大口徑非球面光學(xué)元件小工具數(shù)控拋光技術(shù)”日前通過(guò)成果鑒定。
該項(xiàng)目開(kāi)發(fā)了Φ500mm中大口徑非球面光學(xué)元件五軸四聯(lián)動(dòng)數(shù)控拋光機(jī)床和光學(xué)表面拋光工藝軟件,建立了非球面拋光加工工藝數(shù)據(jù)庫(kù)。機(jī)床采用無(wú)間隙傳動(dòng)和高精度氣動(dòng)系統(tǒng)控制,保證了小工具拋光過(guò)程的運(yùn)行穩(wěn)定性,實(shí)現(xiàn)了精確定量加工。該成果可用于方形對(duì)角線≤650mm、圓形≤Φ500mm非球面光學(xué)元件拋光加工。加工面形精度:PV值≤λ/5,均方根值≤λ/30;表面粗糙度Rq≤1.2nm;加工效率比傳統(tǒng)拋光方法提高3~5倍。該項(xiàng)目整體技術(shù)水平處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先,在中大尺寸非球面光學(xué)元件數(shù)控拋光工藝的工程化方面達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。