近日，中國電子科技集團(tuán)公司(簡稱中國電科)承擔(dān)的國家重大科技專項(xiàng)——— 極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項(xiàng)課題之一的300mm多線切割機(jī)研制成功。該設(shè)備具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。該設(shè)備的研制成功，打破了國內(nèi)生產(chǎn)線上運(yùn)行的12英寸多線切割機(jī)全部為進(jìn)口設(shè)備的現(xiàn)狀。
這個(gè)項(xiàng)目是由中國電科自行設(shè)計(jì)、配套，攻克了衡張力控制、工件臺(tái)精密運(yùn)動(dòng)、切割均勻性及表面切割質(zhì)量等關(guān)鍵技術(shù)，克服了斷線、移動(dòng)臂移動(dòng)失位、鋼絲帶不進(jìn)砂漿等實(shí)際問題，研制成功的實(shí)用化機(jī)型能夠一次切割出400多片滿足生產(chǎn)線要求的12英寸硅片。
該項(xiàng)技術(shù)已向太陽能硅材料加工領(lǐng)域延伸。300mm多線切割機(jī)技術(shù)應(yīng)用到太陽能電池行業(yè)，可一次性切割156mm×156mm的硅片5000～6000片。目前中國電科已與國際大型太陽能硅片企業(yè)簽訂戰(zhàn)略合作協(xié)議，進(jìn)行多功位線鋸的研發(fā)，2011年6月前后將完成商業(yè)機(jī)型的生產(chǎn)線工藝驗(yàn)收。
中國電科已經(jīng)初步形成了601太陽能多線切割機(jī)、300mm多線切割機(jī)等系列化的多線切割設(shè)備，占據(jù)了國內(nèi)線切割技術(shù)的制高點(diǎn)，滿足了不同行業(yè)、不同規(guī)模客戶的不同需要。
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